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PVD镀膜靶材
的应用
2022-01-24 09:20:48
【文章】
大家知道
PVD镀膜靶材
是什么吗? 物理气体相沉积(PVD镀膜)薄膜制备技术,用于真空条件下将靶材的表面物理汽化为气态原子,分子或部分离子化为离子。然后通过低压气体(或等离子体)将具有特定功能的膜沉积在原材料的表面上。物理气相沉积的主要方法:包括真空蒸发,溅射沉积,电弧等离子镀等。PVD膜沉积速度非常快,附着力强,衍射性好,应用范围广。