磁控溅射PVD镀膜
2021-09-27 08:37:56
【文章】
磁控溅射PVD镀膜在真空炉内,Ar离子辉光放电及清洗,由于宇宙射线的作用,在空气中任何时候都存在少量游离的离子,有带正电荷也有带负电荷的,当在较高真空状态下几帕----几十帕,如果这些游离的离子被施加一定的电压,那么带负电荷的电子受到施加电压的作用后开始加速运动,如果施加的电压足够大,这些电子将高速碰撞真空室内的中性气体Ar,并使Ar电离成Ar+,同时Ar释放出一个电子。Ar释放出的这个电子又受到电场的加速作用后又开始去碰撞Ar,使Ar又电离出Ar+。这样就可产生源源不断的电子以及源源不断的Ar+。由于货品如表带,表壳等带负偏压,所以货品就吸引Ar+,Ar+就在电场中被加速后去碰撞货品。