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  • 真空镀膜-分子束外延技术在半导体工艺中的应用

    真空镀膜-分子束外延技术在半导体工艺中的应用 2021-10-11 09:13:16 【文章】

    真空镀膜-分子束外延技术是近些年被广泛用在半导体行业的一项新技术，它是在超高真空条件下，类似于真空蒸发镀把晶体的祖坟和掺杂的原子以一定的热运动速度，按比例喷射到几片上去进行晶体外延生长而制备单晶膜的一种方法。