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真空溅射镀膜
的优缺点
2022-08-12 14:31:59
【文章】
真空溅射镀膜
是用几十电子伏或更高动能的荷能粒子轰击材料表面,使其原子获得足够高的能量而溅出进入气相,这种溅出的、复杂的粒子散射过程称为溅射。
真空溅射镀膜
就是利用溅射现象实现制取各种薄膜...
如何区分
真空溅射镀膜
和蒸发镀?
2022-08-08 08:00:00
【文章】
真空溅射镀膜
是一种物理镀膜的方法,需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片...
离子镀与蒸镀和溅射镀的根本区别是什么
2022-07-12 12:17:47
【文章】
真空溅镀,是
真空溅射镀膜
的简称,是一种物理镀膜的方法。真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很...
真空溅射镀膜
是什么?
2022-07-07 10:36:45
【文章】
真空溅射镀膜
是通过离子碰撞而获得薄膜的一种工艺,主要分为两类:阴极溅镀和射频溅镀。阴极溅镀一般用于溅镀导体如铝,银或半导体如硅。射频溅镀一般用于溅镀非导体如ZnS一SiO2RW格式用镀层...
真空溅射膜层的特点
2022-06-02 10:10:48
【文章】
真空溅射膜层的厚度控制在预定的数值上,称为膜厚的可控性。所需要的膜层厚度可以多次重复性出现,称为膜厚重复性。在
真空溅射镀膜
中,可以通过控制靶材电流来控制膜厚。溅射原子能量比蒸发原子能量高1-2个数量级,高能量的溅射原子沉积在基片上进行的能量转换比蒸发原子高得多,产生较高的能量,增强了溅射原子与基片的附着力......
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