真空离子镀膜 的叫法有很多种，比如真空镀、pvd、溅射镀等等，真空离子镀膜到底在那个范畴，与哪个称呼对等呢？

其实真空离子镀膜属于真空镀膜的一种，也属于PVD的一种。这三者中，真空镀膜范围最广，PVD次之，真空离子镀膜范围最小。那真空离子镀膜是不是就是磁控溅射，二者是否对等呢？答案是否定的，二者并不对等，真空离子镀膜是真空蒸发和真空溅射镀膜结合的一种镀膜技术。离子镀的过程是在真空条件下,利用气体放电使工作气体或被蒸发物质(膜材)部分离化,在工作气体离子或者被蒸发物质的离子轰击作用下,把蒸发物质或其反应物沉积在被镀基片表面的过程。

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