真空离子镀 是在真空室内采用真空弧光放电技能,在阴极资料外表发生弧光,使阴极资料蒸腾,构成原子和离子。在电场效果下,原子和离子束高速轰击作为阳极的工件表面。同时向真空室内通入反应气体,即可在工件外表构成具有很好功能的镀层。阴极资料(也称靶材)通常采用钛、铬、锆等金属,常用反响气体为氮气和碳氢化合物气体。取得的镀层有TiN、CrN、TiC、ZrN等。真空离子镀具有下列长处:
可取得高硬度的镀层,镀层摩擦系数小,耐磨性高;
镀层化学稳定性好,抗高温氧化,耐蚀性好;
镀层漂亮。可取得如18K金的金黄色色泽及其它五颜六色膜;
镀层与基材结合力高。其结合力要高于传统的磁控溅射、真空蒸镀等涂层,镀层不易脱落;
出产过程对环境无污染。镀层构成速度快,节约用电、节约用水。
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