真空电镀加工表面的清洗尤为关键，将直接危及电镀工艺的产品质量。加工件进入真空前，必须保证电镀前的清洁。表面污染来自各种粉尘、润滑油、 汽车机油、抛光蜡、植物油、汗渍等附着在加工、传输和包装过程中的产品工件。为了更好地防止整个加工过程中的不良情况，大多数真空电镀制造商可以选择去除油蜡或有机化学清洗。

         清洗后的加工件表面不得储存在空气污染中，应储存在封闭的容器或保洁服务柜中，以减少灰尘污染。用刚空气氧化的铝器皿贮存玻璃衬底，可以最大限度地减少碳氧化合物蒸汽的吸收。由于该容器优先吸收碳氧化合物。真空电镀处理一般针对高度不稳定、对水蒸气敏感的表面，一般储存在真空干燥箱中。

       真空电镀加工消除涂层车间内的灰尘，设置无尘车间，保持车间内的高清洁，是真空电镀加工工艺对环境的规定。在空气相对湿度较高的地区，除了在电镀前仔细清洁基板和真空室内的所有部件外，还需要进行烘烤和除气。为避免油带到真空内，注意油扩散泵的回油，高加热输出功率的扩散泵必须采用挡油对策。

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