目前PVD镀膜
主要有蒸发镀膜,磁控溅射镀膜,多弧离子镀膜,化学气相沉积等形式。
PVD总的来说属于绿色环保产业,和其他行业相比,对人体有害很小,但不是没有。当然,也完全可以有效减少,甚至完全消除。
1)噪音污染:如特别是一些大的镀膜设备,机械真空泵噪音很大,可以把泵隔离在墙外;
2)光污染:离子镀膜过程中,气体电离发出强光,不宜透过观察窗久看;
3)金属污染:镀膜材料有些(如铬、铟、铝)是对人体有害的,特别要注意真空室清理过程中出现的粉尘污染。
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