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在真空镀膜中,通过选用不同的气体,膜层的颜色和性能也会有差异,一般在真空镀膜的环境下镀钛和铬时,加入氮气可生产出银色、黄色等产品。而想要生产出黑色和灰色的产品,则需要加入乙炔气体,加入氧气则可生产蓝色的产品。
除气体之外,所生产出的产品颜色还会受压力、温度、等条件影响。有些气体是在真空镀膜时为了调节压力而使用的,氩气如果只是调节压力,一次压可以不计入其中,但二次压一定要小于0.5个大气压方可。氮气也是一样,主要是因为如果气体大了,会导致真空仓内的压力变化太剧烈,导致镀出来有色差。如果想使用离子源,那么氩气不要过大,大了会导致离子量过大,烧坏镀膜部件。除了在产品表面吸附的气体之外,一直在加热保温过程中,结构复杂的产品内部还会渗出一部分气体来,这些气体的存在往往对薄膜的纯度和颜色有着较大的影响,对膜层影响也很大。因此镀膜机器在真空镀膜时,气体是关键性的作用之一,是镀膜环节不可缺少的一步。
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