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无论采用什么样的方式真空镀膜 ,其均匀度都会受到某些因素的影响。今天我们就来聊聊磁控溅射镀膜,造成膜层不均匀的原因。磁控溅射镀膜的原理是在真空状态下,正交磁场使电子轰击氩气,构成氩离子再轰击靶材,靶材离子堆积于产品表面,形成膜层,那么影响膜层不均匀的就有真空度、磁场和氩气。
真空度需要抽气系统来完成,每个抽气口都要一起发力,这样就能撑控抽气的均匀性,炉体内的真空度也就很好控制;真空炉体内是一个强有力的磁场,虽说磁场强度不可以做到百分之分均匀,但产品在炉体内均速公转、自转,所以膜层也还是很均匀的;氩气的均匀性对会膜层也有一定的影响,原理和真空度差不多,因为氩气的加入,真空室内压强会发生改变。尽管总有一些因素影响膜层的均匀性,但只要熟练操作真空镀机,控制好各项参数,真空镀膜的均匀性还是很容易控制的。
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