真空镀膜膜层出现膜外白雾的改善对策。

现象：膜层完成后，表面有一些轻微的白雾，用丙酮或混合物擦拭，会有越来越严重的现象。用氧化锆粉擦拭，可以擦拭或减少（也称为：可以擦拭压克）

分析：真空镀膜膜层出现膜外白雾的原因比较复杂，可能的原因有:

①、膜结构问题：外膜柱状结构松散，外膜粗糙；

②、蒸发角过大，膜结构粗糙。

③、温差：镜片出罩时内外温差过大。

④、潮气；透镜出罩后放置环境的潮气。

⑤、真空室内Polycold解冻时水气过多。

⑥、充氧不完全，膜结构不均匀。

⑦、膜与膜之间的应力。

改进思路：膜外白雾的原因很多，但各有特点，尽量对症下药。主要思路是使膜致密光滑，不易吸附，改善环境，减少吸附对象。

对策：

1、改善膜系统，在外层加入二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善透镜出罩时的环境(干燥、清洁)

2、降低出罩时的镜片温度(延长真空室冷却时间)，减少温差和应力。

3、改善充氧(加大)和膜结构。

4、适当降低蒸发速率，改善柱状结构。

5、改善膜结构。

6、加上polycold解冻时的小充气阀(其功能是及时带走水蒸气)。

7、从蒸发源和夹具上找到改善蒸发角的方法。

8、提高基片表面粗糙度。

9、注意polycold解冻时的真空度。

以上是真空镀膜膜层出现膜外白雾的改善对策，如有其他问题，欢迎咨询：18018743855   0755-27865426