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“磁性”在深圳不锈钢磁控溅射镀膜厂的磁控溅射工艺中具有举足轻重影响,“磁性”会影响成膜,其中磁性目标材料有一个困难之处,即目标材料表面的磁场不能满足正常磁控溅射所需的磁场强度,因此解决方案是增加磁性控制目标材料表面剩余磁性的强度,以满足目标材料表面磁场大小达到正常溅射工作的要求。
改善磁控溅射的磁性方式有以下几点:
1、目标材料的设计和改进(减少铁磁性目标材料的厚度是解决真空电镀铁磁性材料目标材料最常见的方法);
2、增强真空电镀阴极的磁场效应;
3、降低靶材的磁导率;
4、设计新的磁控溅射阴极装置;
5、设计新的真空电镀系统;
6、阴极装置的综合设计,目标材料和磁控溅射。
以上就是深圳不锈钢磁控溅射镀膜厂就工艺中对于“磁性”的要求及改变磁性的方式,如您还有关于磁控溅射方面的问题想要咨询,欢迎致电18018743855。
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