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磁控溅射镀膜厂家,收到来料电镀的产品先是检验,再上挂清洗,清洗是很重要的一个步骤,货品清洗洁净度不够,会直接影响膜层的附着力,这是PVD电镀厂家的大忌。产品清洗后,进入密闭真空室内工艺流程是怎样的呢?
第一,采用辉光放电产生的氩离子清洗工件,向真空室内充入氩气,放电电压为1000V左右,接通电源产生辉光放电,用氩离子轰击清洗工件
第二,镀氮化钛膜层,磁控溅射镀膜开启钛靶电源后产生辉光放电,高能的氩离子轰击溅射靶材,从靶材上溅射出钛原子,通入反应气体氮气,钛原子和氮气在直空室内被电离成钛离子、氮离子,在工件所加负偏压电场的吸引下,离子加速到工件表面沉积生成氮化钛膜层。
第三,达到预设的膜层厚度以后,关闭磁控溅射镀膜机的电源,偏压电源,气体源。待产品温度低于120度以后,向真空室内通入空气,取出电镀产品。
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【本文标签】 磁控溅射镀膜
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